TY  - BOOK
AU  - Домкус, М.С.
ED  - Каунасский политехнический ин-т им. А.Снечкуса
TI  - Ионно-плазменные процессы в технологии микроэлектроники
T2  - Тематический сборник научных трудов вузов ЛитССР
PY  - 1982///
CY  - Вильнюс
PB  - Б. и.
N2  - Библиогр. в конце ст
ER  -