TY  - BOOK
AU  - Васичев, Б. Н.
TI  - Физические основы конструирования оборудования микроэлектроники
SN  - 5-230-16237-6
PY  - 1999///
CY  - М.
PB  - Моск. гос. ин-т электроники и математики
KW  - Радиозаводы
KW  - Оборудование
KW  - Проектирование
KW  - Руководства, пособия и т.п. для высшей школы
KW  - nlr_sh1
KW  - RU\NLR\auth\661304563
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - nlr_sh2
KW  - З844.1-06-5-02я73-1
N2  - Библиогр.: с. 78 (7 назв.)
ER  -