TY  - BOOK
AU  - Луфт, Б.Д.
TI  - Исследование технологических процессов подготовки монокристаллических подложек соединений А³В⁵ для эпитаксиальной технологии
T2  - Препринт
VL  - № 25 (352)
PY  - 1982///
CY  - М.
PB  - Б. и.
N2  - Библиогр.: с. 27-29
ER  -