@book{4875109,
	author = {Моряков, О. С.},
	title = {Термические процессы в микроэлектронике},
	publisher = {Высш. школа},
	year = {1987},
	series = {Профтехобразование},
	address = {М.},
	edition = {3-е изд., перераб. и доп.},
	note = {Загл. 2-го изд.: Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве}
}