TY  - BOOK
AU  - Моряков, О. С.
TI  - Термические процессы в микроэлектронике
T2  - Профтехобразование
PY  - 1987///
CY  - М.
PB  - Высш. школа
N2  - Библиогр.: с. 197 (9 назв.)
ER  -