TY  - BOOK
AU  - Редин, В.М.
ED  - Московский ин-т электронной техники
TI  - Технологическое оборудование микроэлектроники
PY  - 1993///
CY  - М.
PB  - МИЭТ
N2  - Библиогр. в конце ст
ER  -