TY  - BOOK
AU  - Старос, Ф.Г.
TI  - Физико-технологические аспекты создания микроэлектронных структур
PY  - 1978///
CY  - Владивосток
PB  - ДВНЦ АН СССР
N2  - Библиогр. в конце работ
ER  -