TY  - BOOK
AU  - Галанин, М.П.
TI  - О методе расчета диффузии заряженных примесей в полупроводнике
T2  - Препринт
VL  - 158
PY  - 1984///
CY  - М.
PB  - ИПМ
N2  - Библиогр.: с. 20
ER  -