@book{4934703,
	author = {Глудкин, О.П.},
	title = {Электрические методы исследования дефектности тонких диэлектрических слоев (по данным отечественной и зарубежной печати за 1964-1982 гг.)},
	publisher = {ЦНИИ "Электроника"},
	year = {1983},
	series = {Обзоры по электронной технике},
	address = {М.},
	note = {В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР}
}