TY  - BOOK
AU  - Попов, Ю. П.
TI  - Разработка базового малооперационного технологического процесса изготовления биполярных масштабируемых СБИС ЗУ
PY  - 1987///
CY  - Минск
PB  - Б. и.
N2  - Список работ авт.: с. 26-29
ER  -