TY  - BOOK
AU  - Чаплыгин, Ю.А.
ED  - Московский ин-т электронной техники
TI  - Элементная база микро- и наноэлектроники: физика и технология
SN  - 5-7256-0014-9
PY  - 1994///
CY  - М.
PB  - МГИЭТ(ТУ)
N2  - Библиогр. в конце ст
ER  -