TY  - BOOK
AU  - Свиташев, К. К.
ED  - Институт физики полупроводников
TI  - Эллипсометрия. Теория. Методы. Приложения
SN  - 5-02-029916-2
PY  - 1991///
CY  - Новосибирск
PB  - Наука. Сиб. отд-ние
N2  - Библиогр. в конце ст
ER  -