TY - BOOK AU - Саксаганский, Г.Л. TI - Источники возобнавляемых геттерных пленок T2 - ХМ-6, Криогенное и вакуумное машиностроение PY - 1988/// CY - М. PB - ЦИНТИхимнефтемаш N2 - Библиогр.: с. 36-38 (56 назв.) ER -