TY  - BOOK
AU  - Раков, Э. Г.
AU  - Тесленко, В. В.
TI  - Химическое осаждение из газовой фазы
PY  - 1983///
CY  - М.
PB  - МХТИ
N2  - Библиогр.: с. 31 (11 назв.)
ER  -