TY  - BOOK
AU  - Баланюк, В.В.
TI  - Растровая диагностика атомарных потоков в установках молекулярно-лучевой эпитаксии
T2  - Препринт
VL  - № 204
PY  - 1983///
CY  - Новосибирск
PB  - Ин-т автоматики и электрометрии
N2  - Библиогр.: с. 10
ER  -