TY  - BOOK
AU  - Рувинский, М.А.
TI  - ТЕОРЕТИЧЕСКОЕ исследование ионной имплантации в многослойных твердотельных структурах
T2  - Препринт
VL  - ИТФ-88-14Р
PY  - 1988///
CY  - Киев
PB  - ИТФ
N2  - Библиогр.: с. 17-18
ER  -