TY  - BOOK
AU  - Гук, Е.Г.
AU  - Ельцов, А. В.
ED  - Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе
TI  - Фоторезисты-диффузанты в полупроводниковой технологии
PY  - 1984///
CY  - Л.
PB  - Наука. Ленингр. отд-ние
N2  - Библиогр. в конце глав и с. 116
ER  -