TY  - BOOK
AU  - Корзо, В.Ф.
TI  - Физические основы микроэлектроники
PY  - 1978///
CY  - Москва
PB  - МФТИ
KW  - Микроэлектроника
KW  - Физические основы
KW  - psbo
N2  - Библиогр.: с. 71 (5 назв.)
ER  -