TY  - BOOK
AU  - Русак, Т.Ф.
AU  - Гриднев, В.Н.
AU  - Енишерлова-Вельяшева, К. Л.
AU  - Татаренков, А.И.
TI  - Методы контроля нарушенных слоев при механической обработке монокристаллов
T2  - Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры
VL  - Вып. 13
PY  - 1978///
CY  - Москва
PB  - Энергия
KW  - Полупроводники
KW  - Обработка
KW  - Технический контроль
KW  - psbo
N2  - Список лит.: с. 59-63 (70 назв.)
ER  -