TY  - BOOK
AU  - Ливенцева, И.Ф.
AU  - Радченко, Л.А.
TI  - Технология и автоматизация производства полупроводниковых приборов и интегральных схем
PY  - 1990///
CY  - Л.
PB  - ЛЭТИ
N2  - Библиогр.: с. 61
ER  -