TY  - BOOK
AU  - Денисов, А.Г.
AU  - Черняк, Е.Я.
AU  - Козлов, А.А.
TI  - Ионно-плазменные источники в технологии микроэлектронных приборов
T2  - Обзоры по электронной технике
VL  - Вып. 893Вып. 14
PY  - 1982///
CY  - М.
PB  - ЦНИИ "Электроника"
N2  - Библиогр.: с. 60-64
ER  -