TY  - BOOK
AU  - Голод, И.А.
AU  - Девятова, С.Ф.
AU  - Ерков, В.Г.
TI  - Осаждение силицидов тугоплавких металлов из газовой фазы, их свойства и состав
T2  - Обзоры по электронной технике
VL  - Вып. 1312Вып. 15
PY  - 1987///
CY  - М.
PB  - Изд-во ЦНИИ "Электроника"
N2  - Библиогр.: с. 49-52; На обл. ошибочно: Вып. 1213
ER  -