TY  - BOOK
AU  - Кузнецов, Г. Д.
AU  - Кушхов, А. Р..
AU  - Билалов, Б. А.
TI  - Элионная технология в микро- и наноиндустрии
PY  - 2008///
CY  - Москва
PB  - Издательский дом МИСиС
KW  - Тонкие пленки
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - Осаждение
KW  - RU\NLR\auth\661359283
KW  - З844.13-060.7я73-2
N2  - Библиогр.: с. 155
ER  -