TY  - BOOK
AU  - Сиксин, В.В.
TI  - Установка по очистке тетраметилсилана (TMS) от электроотрицательных примесей и система контроля за электропроводностью TMS после очистки
T2  - Препринт
VL  - ИФВЭ ОНФ 90-112
PY  - 1990///
CY  - п. г. т. Протвино (Моск. обл.)
PB  - ИФВЭ
N2  - Библиогр.: с. 7 (6 назв.)
ER  -