TY  - BOOK
AU  - Гончакова, Н.Н.
AU  - Кислов, Н.А.
TI  - Исследование методами ИК-спектроскопии и резерфордовского обратного рассеяния пленок и процессов их образования при лазерно-химическом осаждении из паров пентакарбонила железа
T2  - Препринт
PY  - 1988///
CY  - Черноголовка, [М.]
PB  - Б. и., Ин-т пробл. технологии и микроэлектроники и особочистых материалов
N2  - Библиогр.: с. 20-21
ER  -