TY  - BOOK
AU  - Дубравина, А.В.
TI  - Низкотемпературная плазма и ее применение в производстве ИЭТ
T2  - Тематические указатели литературы
VL  - Вып. 333Вып. 2
PY  - 1982///
CY  - М.
PB  - ЦНИИ "Электроника"
ER  -