@book{5208564,
	author = {Моряков, О. С.},
	title = {Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве},
	publisher = {Высш. школа},
	year = {1980},
	series = {Профтехобразование},
	address = {М.},
	edition = {2-е изд., перераб. и доп.},
	note = {Загл. 3-го изд., перераб. и доп.: Термические процессы в микроэлектронике}
}