TY  - BOOK
AU  - Моряков, О. С.
TI  - Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве
T2  - Профтехобразование
PY  - 1980///
CY  - М.
PB  - Высш. школа
N2  - Библиогр.: с. 178
ER  -