TY  - BOOK
AU  - Никифорова-Денисова, С.Н.
AU  - Фролова, Л.А.
TI  - Технология и организация производства полупроводниковых приборов и микросхем
PY  - 1990///
CY  - М.
PB  - ЦНИИ "Электроника"
N2  - Библиогр.: с. 122
ER  -