TY  - BOOK
AU  - Старос, Ф.Г.
AU  - Филаретов, Г.А.
AU  - Лурье, М.С.
AU  - Бубнов, Ю.З.
TI  - Вакуумное нанесение пленок в квазизамкнутом объеме
PY  - 1975///
CY  - Москва
PB  - Сов. радио
KW  - Пленки тонкие
KW  - Получение
KW  - Применение вакуума
KW  - psbo
N2  - Список лит.: с. 153-159 (133 назв.)
ER  -