TY  - BOOK
AU  - Гаврилов, С. А.
AU  - Белов, А. Н.
TI  - Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники
T2  - Приоритетные национальные проекты
SN  - 978-5-9692-0304-4
PY  - 2009/// [т.е. 2008]
CY  - Москва
PB  - Высшее образование
KW  - Микротехнология
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\auth\661410278
KW  - Нанотехнологии
KW  - RU\NLR\auth\66830353
KW  - З844.1-06я73-1
N2  - Библиогр.: с. 256-247 (26 назв.)
ER  -