01302nam0a22002651  4500001001100000005001700011021001900028035002600047100004100073101000800114102000700122105001800129200019600147210003900343215002300382320005300405606009000458606011700548700007600665701006000741701017600801801001800977801002200995852001901017rc\380368720250530055246.0  aRUb[75-76921]  a(NLR Aleph) 007256961  a20120311d1975    |||y0rusy50      ca0 arus  aRU  aa   z   |||||1 aСтатическое электричество в полупроводниковой промышленностиfВ.А. Каверзнев, А.А. Зайцев, Ю.А. Овечкин  aМоскваcЭнергияd1975  a113 с.cил.d21  aСписок лит.: с. 110-112 (58 назв.)  aЭлектричество статическое в производствах2psbo  aПолупроводниковые приборыxЭлектростатические свойства2psbo 1aКаверзневbВ.А.gВладимир Александрович 1aОвечкинbЮ.А.gЮрий Алексеевич 1aЗайцевbА. А.cспециалист в обл. полупроводник. приборовgАнатолий Александрович3RU\NLR\AUTH\770222880 0aRUbNLRgpsbo 1aRUbELAR2rusmarc  aNLRj75-3/6433