TY  - BOOK
AU  - Каверзнев, В.А.
AU  - Овечкин, Ю.А.
AU  - Зайцев, А. А.
TI  - Статическое электричество в полупроводниковой промышленности
PY  - 1975///
CY  - Москва
PB  - Энергия
KW  - Электричество статическое в производствах
KW  - psbo
KW  - Полупроводниковые приборы
KW  - Электростатические свойства
N2  - Список лит.: с. 110-112 (58 назв.)
ER  -