TY  - BOOK
AU  - Голод, И.А.
TI  - НИТРИД кремния, синтезированный в реакторе пониженного давления из тетрахлорида кремния и аммиака: осаждение, свойства, использование
T2  - Обзоры по электронной технике
VL  - Вып. 1326Вып. 1
PY  - 1988///
CY  - М.
PB  - Изд-во ЦНИИ "Электроника"
N2  - Библиогр.: с. 38-43
ER  -