TY  - BOOK
AU  - Масленицын, С.Ф.
AU  - Световой, В.Б.
TI  - Термическая активация процесса травления полимера при прямом рисовании лазерным лучом
T2  - Препринт
VL  - № 14
PY  - 1990///
CY  - Ярославль
PB  - ИМ
N2  - Библиогр.: с. 30-32
ER  -