TY  - BOOK
AU  - Минайчев, В.Е.
TI  - Нанесение пленок в вакууме
SN  - 5-06-000308-6
PY  - 1989///
CY  - Б. м.
N2  - Библиогр.: с. 108 (6 назв.)
ER  -