TY  - BOOK
AU  - Кузнецов, Г. Д.
TI  - Технология материалов электронной техники
PY  - 2006///
CY  - Москва
PB  - Учеба
KW  - Эпитаксия молекулярно-лучевая
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\auth\661266330
KW  - Тонкие пленки
KW  - Кристаллизация
KW  - RU\NLR\auth\661129263
KW  - З85-03я73-1
KW  - З844.13-060.7я73-1
N2  - Библиогр.: с. 87 (5 назв.)
ER  -