TY  - BOOK
ED  - "Моделирование приборов и технологии в микроэлектронике", международный семинар
TI  - Международный семинар "Моделирование приборов и технологий в микроэлектронике"
PY  - 1990///
CY  - Новосибирск
PB  - Б. и.
KW  - "Modelling of devices and process in microelectronics", international seminar (1990 ; Novosibirsk)
KW  - Abstracts
N2  - Библиогр. в конце докл
ER  -