TY  - BOOK
AU  - Петренко, А. И.
AU  - Синекоп, Ю. С.
AU  - Матросова, Г. А.
ED  - Украинский учебно-методический кабинет высшего образования
TI  - Моделирование технологических процессов изготовления БИС
SN  - 5-7763-0036-3
PY  - 1990///
CY  - Киев
PB  - УМКВО
KW  - Большие интегральные схемы
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - Проектирование
KW  - RU\NLR\AUTH\661376777
KW  - з844.15-02я73
N2  - Библиогр.: с. 310-317 (120 назв.)
ER  -