TY  - BOOK
AU  - Колешко, В.М.
AU  - Буйко, Л.Д.
AU  - Гойденко, П.П.
TI  - Контроль в технологии микроэлектроники
PY  - 1979///
CY  - Минск
PB  - Наука и техника
KW  - Микроэлектронные схемы, интегральные, большие
KW  - Производство
KW  - Технический -контроль
KW  - psbo
N2  - Библиогр.: с. 293-310 (736 назв.)
ER  -