@book{5384803,
	author = {Шепелев, С. Н. and Васильев, В. Ю.},
	title = {Плазмохимическое осаждение тонких пленок в реакторах пониженного давления},
	publisher = {Изд-во ЦНИИ "Электроника"},
	year = {1988},
	series = {Обзоры по электротехнике},
	address = {М.},
	note = {В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР}
}