TY  - BOOK
AU  - Шепелев, С. Н.
AU  - Васильев, В. Ю.
AU  - Попов, В. П.
TI  - Плазмохимическое осаждение тонких пленок в реакторах пониженного давления
T2  - Обзоры по электротехнике
PY  - 1988///
CY  - М.
PB  - Изд-во ЦНИИ "Электроника"
ER  -