TY  - BOOK
AU  - Вертопрахов, В. Н.
AU  - Круподер, С. А.
TI  - Тонкие оксидные пленки с участием органических предшественников
T2  - Препринт
VL  - 98-02
PY  - 1998///
CY  - Новосибирск
PB  - Изд-во СО РАН
KW  - Полупроводники оксидные
KW  - Тонкие пленки
KW  - Производство
KW  - nlr-sh1
KW  - RU\NLR\auth\661261457
KW  - З843.371.08-1
N2  - Библиогр. в конце кн. (266 назв.)
ER  -