TY  - BOOK
AU  - Болотов, В.В.
AU  - Смирнов, Л. С.
ED  - Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова
TI  - Вопросы радиационной технологии полупроводников
PY  - 1980///
CY  - Новосибирск
PB  - Наука. Сиб. отд-ние
N2  - Библиогр. в конце глав
ER  -