TY  - BOOK
AU  - Альтудов, Ю.К.
TI  - Обеспечение заданных поверхностных свойств материалов электронной техники на базе импульсных процессов обработки жидкими реагентами и ионами
PY  - 1990///
CY  - М.
PB  - Б. и.
N2  - Список работ авт.: с. 46-51
ER  -