TY  - BOOK
AU  - Клисторин, И.Ф.
ED  - Кишиневский политехнический институт им. С. Лазо
TI  - Полупроводниковые структуры и системы контроля технологических процессов
PY  - 1982///
CY  - Кишинев
PB  - Штиинца
N2  - Библиогр. в конце ст
ER  -