TY  - BOOK
AU  - Пранявичюс, Л.Й.
ED  - Каунасский политехнический ин-т им. А.Снечкуса
TI  - Физическая электроника. Применение пучков ионов и плазмы в технологии
T2  - Тематический сборник научных трудов вузов ЛитССР
PY  - 1988///
CY  - Вильнюс
PB  - М-во нар. образования ЛитССР
N2  - Библиогр. в конце ст
ER  -