@book{553384,
	author = {Стемпковский, А. Л.},
	title = {Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2008 [МЭС - 2008]},
	publisher = {Институт проблем проектировния в микроэлектронике},
	year = {2008},
	address = {Москва}
}