TY  - BOOK
AU  - Стемпковский, А. Л.
TI  - Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2008 [МЭС - 2008]
SN  - 978-5-903559-10-7
PY  - 2008///
CY  - Москва
PB  - Институт проблем проектировния в микроэлектронике
KW  - Микроэлектроника
KW  - Съезды, совещания и т.п
KW  - RU\NLR\auth\661267605
KW  - Наноэлектроника
KW  - RU\NLR\auth\661468617
KW  - З844.1я431(2)
N2  - Библиогр. в конце ст; Имен. указ. авт. ст.: с. 549-550
ER  -