@book{5536667,
	author = {Скляров, Н. Е. and Сапожков, К. А.},
	title = {Физические основы технологии микроэлектронной аппаратуры},
	publisher = {ППИ},
	year = {1980},
	address = {Пенза},
	note = {Авт. указаны на обороте тит. л.}
}